図06:SOI Waferを利用したのは、Silicon Opticsを構築するのに特性が有利な部分がいくつかあるからだが、その反面コスト的にはちょっと厳しい

図06:SOI Waferを利用したのは、Silicon Opticsを構築するのに特性が有利な部分がいくつかあるからだが、その反面コスト的にはちょっと厳しい