図07：V字型の溝（V-groove:この溝に光ファイバーを収める。右下図参照）の構築とか、その中心にSiNの導光路を配するといった製造工程は、193nmのDUV露光（それもSingle Patterning）で行えるので、非常に精度が高く、ロスも少ないとしている
