AlN系トランジスタ(Al組成85%)の(a)電子顕微鏡像(上面から撮影)、(b)ゲート電圧を+3Vから−9Vまで変化させたときのドレイン電流‐電圧特性

AlN系トランジスタ(Al組成85%)の(a)電子顕微鏡像(上面から撮影)、(b)ゲート電圧を+3Vから−9Vまで変化させたときのドレイン電流‐電圧特性